SEMT20FD 高精度热式气体质量流量控制器

专业制造气/液体质量流量计和控制器，仪表根据客户实际工况和需求进行设计，广泛用于各个行业对气/液体的质量流量进行精密测量和控制。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器等。