SEMTFM350 热式气体流量传感器

利用热扩散原理测量气体流量。传感器由两个基准级热电阻（RTD）组成：一个是速度传感器RH，用于加热被测气体；另一个是温度传感器RMG，用于感应被测气体的温度变化。当传感器RH被加热后，随着气体流速的增加，气流会带走更多热量，导致传感器RH的温度下降。
热式气体质量流量计通过测量流体流过外热源加热的管道时产生的温度场变化来测量流体质量流量。具体方法有两种：一是利用流体流过加热管道时产生的温度场变化与流体质量流量的关系；二是利用加热流体时流体温度上升某一值所需的能量与流体质量之间的关系。